Laboratórium je vybavené dvojzväzkovým systémom Thermo Scientific Scios 2 DualBeam, ktorý v sebe kombinuje skenovaciu elektrónovú mikroskopiu a fokusovaný iónový zväzok. Hlavné časti mikroskopu sú elektrónový stĺpec, iónový stĺpec, nanomanipulátor a detektor röntgenového žiarenia EDS.
Zariadenie používa Schottkyho emisnú katódu a elektrostatické šošovky, čo umožňuje analýzy materiálov vo vysokom rozlíšení, vrátane magnetických a nevodivých, pre prvkovú analýzu používa EDS detektor. Fokusovaný iónový zväzok poskytuje možnosť opracovávať vzorky iónmi gália.
Mikroskop je používaný hlavne na analýzu vzoriek v režime SEM (skenovacia elektrónová mikroskopia), EDS (energeticko disperzná spektroskopia využívajúca röntgenové žiarenie na identifikáciu materiálového zloženia), mechanické opracovávanie vzoriek (nanoštruktúrovanie a 3D EDS analýzy) a prípravu tenkých lamiel pre TEM mikroskopiu.
Pozorovanie vzoriek:
Mikroskop je na pozorovanie vzoriek vybavený viacerými detektormi:
- detektor sekundárnych elektrónov v komore (ET-SED)
- detektor elektrónov v režime nízkeho vákua (10 – 500 Pa)
- detektory elektrónov v stĺpci (segmentovaný dolný detektor T1, horný detektor T2)
- zasúvateľný segmentový detektor spätne odrazených elektrónov (DBS)
- zasúvateľný STEM detektor
Mikroskop je vybavený 5-osovým stolčekom:
- rozsah pohybu osí xy: 110 mm
- pohyb v smere osi z: 65 mm
- rotácia: 360°
- rozsah náklonu osí -15° až 90°
- max. výška vzorky: 85 mm
- max. rozmery vzorky 110 x 110 mm
Rozlíšenie elektrónového zväzku pri optimálnej pracovnej vzdialenosti:
- 0,7 nm pri 30 keV STEM
- 1,4 nm pri 1 keV
Rozlíšenie iónového zväzku:
- 3 nm pri 30 kV
SEM merania:
